Quanta 3D FEG - Detektory - Sekcja Mikroskopii Elektronowej

Idź do spisu treści

Menu główne:

Quanta 3D FEG - Detektory

Quanta 3D FEG
Detektory Quanta 3D FEG

Mikroskop Quanta 3D FEG wyposażony jest w detektory obrazowe różnego typu umożliwiające uzyskanie wielu typów informacji o badanym materiale, a przez to kompleksową jego charakterystykę. Detektory elektronów wtórnych (SE) dedykowane są do pracy w trzech trybach ciśnieniowych aparatu (wysokiej próżni, niskiej próżni i trybu środowiskowego oraz w pełnym zakresie trybu niskiej próżni). Mikroskop pozwala również na detekcję elektronów wstecznie rozproszonych (BSE), elektronów przechodzących (technika STEM) oraz detekcję jonów wtórnych.

 

 
 

 

 
 
Typy detektorów

Nazwa detektora

Typ sygnału

Tryb pracy

Maksymalne ciśnienie [Pa]

Detektror Everharta-Thornley'a (ETD)

  • elektrony wtórne (SE)

  • elektrony wstecznie rozproszone (BSE)

  • HiVac

3*10-2

Detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSED)

  • elektrony wstecznie rozproszone (BSE)

  • HiVac

  • LoVac

200

Gazowy detektror elektronów wtórnych GSED

  • elektrony wstecznie rozproszone (BSE)

  • LoVac

  • ESEM

750
(przesłona 1000
mm)

Detektor dużego pola (LFD)

  • elektrony wtórne (SE) + elektrony wstecznie rozproszone (BSE)

  • LoVac

  • ESEM

200

Gazowy detektor analityczny (GAD)

  • elektrony wstecznie rozproszone (BSE)

  • HiVac

  • LoVac

  • ESEM

2700

Gazowy detektor elektronów wstecznie rozproszonych (GBSD)

  • elektrony wtórne (SE)

  • elektrony wstecznie rozproszone (BSE)

  • LoVac

  • ESEM

10 - 2600
(optymalnie 500)

Detektor STEM (STEM)

  • elektrony przechodzące (TE)

  • HiVac

  • LoVac

  • ESEM

pełny zakres pracy aparatu

Detektor EBDS (EBDS)

  • elektrony wstecznie rozproszone (BSE) (dyfrakcja)

  • HiVac

  • LoVac

  • ESEM

pełny zakres pracy aparatu

Detektor  EDS (EDS)

  • promieniowanie rentgenowskie (X)

  • HiVac

  • LoVac

  • ESEM

pełny zakres pracy aparatu

HiVac - tryb wysokiej próżni,  LoVac - tryb niskiej próżni,  ESEM - tryb środowiskowy

 
 

Aktualizacja 2014-01-20

Poprawny CSS!

Wróć do spisu treści | Wróć do menu głównego