Quanta 3D FEG - GIS - Sekcja Mikroskopii Elektronowej

Idź do spisu treści

Menu główne:

Quanta 3D FEG - GIS

Quanta 3D FEG

 

Quanta 3D FEG GIS (Gas Injection System)

Wysokorozdzielczy mikroskop skaningowy Quanta 3D FEG firmy Fei wyposażony jest w układy GIS (ang. Gas Injection System) służące do precyzyjnego podawania gazów roboczych:

  • układ do precyzyjnego podawania gazu roboczego pozwalający na depozycję platyny (przy użyciu wiązki jonowej lub elektronowej),

  • układ do precyzyjnego podawania gazu roboczego przyspieszającego w znaczny sposób proces trawienia jonowego materiałów zbudowanych na bazie węgla,

  • układ do precyzyjnego podawania gazu roboczego przyspieszającego w znaczny sposób proces trawienia jonowego materiałów zbudowanych na bazie krzemu.

 

 
 
GIS Platinum Deposition

Układ GIS Platinum Deposition jest systemem podawania gazu roboczego zawierającego platynę do osadzania platyny pod wiązką jonową lub wiązką elektronową.  Z uwagi na możliwość kontroli procesu osadzania, jak również dużą szybkość i precyzję depozycjii platyna jest preferowanym materiałem depozycyjnym.
Elementy układu

  • prekursor gazu,

  • igła iniekcyjną,

  • system wstrzykiwania gazu  

  • sterownik

 

 
 
GIS Insulator Enhanced Etch

Układ GIS Insulator Enhanced Etch jest systemem do podawania gazu roboczego XeF2 przeznaczonym specjalnie do operacji trawienia materiałów nieprzewodzących. Gaz roboczy XeF2 jest wykorzystywany do selektywnego materiału o właściwościach dielektrycznych (materiał przewodzący pozostanie nienaruszony).
Elementy układu

  • prekursor gazu,

  • igła iniekcyjna,

  • system wskrzykiwania gazu,

  • sterownik.

 

 
 
GIS Selective Carbon Mill

Układ GIS Selective Carbon Mill  do podawania gazu roboczego  jest przeznaczony do efektywnego - tj. szybkiego i niezniekształconego trawienia materiaów zbudowanych na bazie węgla (m. in. polimerów, poliwęglanów, diamentu).
Elementy układu

  • prekursor gazu

  • igła iniekcyjna

  • system wstrzykiwania gazu

  • sterownik

 

 
 
 

Aktualizacja 2014-01-20

Poprawny CSS!

Wróć do spisu treści | Wróć do menu głównego